众所周知,由于美国因素,世界最大的光刻机制造厂商ASML不能向国内企业提供高端EDA制造设备,也就是光刻机,但很少人知道,7nmDUV光刻机是可以提供的。
近日,据美国媒体报道:ASML已获得荷兰官方许可,被允许在2023年年底前向中国客户出口其部分先进工具,根据ASML表示,在剩下的2023年,ASML将继续出货其NXT:2000i和更先进的DUV型号的产品,这些产品曾被荷兰在2022年底9月1日就受到限制禁止出口。至于2024年能否提供光刻机,ASML表示暂时无法确定。
根据ASML官网所提供的的消息,目前ASML在售的主流浸没式DUV光刻机产品共有三款,分别是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。需要注意的是,这些光刻机都是属于7nm高端DUV光刻机。
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