之前,随着中美贸易战愈发激烈,作为全球知名的,唯一一个能够制造EUV光刻机等先进芯片制造设备的半导体厂商,ASML开始走入国人的眼里,那么很多人就好奇了,难道ASML就靠光刻机一家独大吗?
诚然,在媒体和博主的科普下,大家对ASML的了解是它能够生产先进的光刻机,以至于让台积电、三星等不得不打好交道,但事实上,ASML的秘密武器是光刻机、计算光刻和量测。
1、光刻机
众所周知,光刻机被誉为“芯片之母”,一颗芯片从设计到量产可能需要几个月的时间,涉及的工序也多达几百个。在这个过程中,光刻机的作用就是在晶圆上“刻”出不同的图案。这些纵向连接的图案层数最高甚至超过一百层,这就让参与“刻”的光刻机的精度变得无比重要。
为了让晶圆能刻画出越来越小的电路,ASML不断发展其光刻机,降低其入射光源的波长,提高其的数值孔径,成功打造出现在的EUV光刻机。
2、计算光刻
拥有了光刻机还不够,还得确保更快更好地制造出芯片,这就需要用上计算光刻和量测技术了。
所谓的计算光刻,是指通过计算机模拟、仿真光刻中的光学和化学过程,预测晶圆上的曝光图形,在半导体制程的开发阶段提供光源优化、掩模版图形修正、缺陷的预判和修正方案分析,通过增大芯片制造工艺窗口从而提高产品良率和生产效率。
而ASML具有数年的数据处理经验,再加上公司之前在机器学习根据方面的投入,因此在计算光刻领域上颇有成就。
3、计量与检测
需要注意的是,计算光刻、计量与检测都是ASML为保证芯片良率而做出的努力。
芯片制造商在使用光刻机生产芯片的时候,会首先让电路图像在晶圆上成像,然后借助先进的量测系统和软件来检验这些图案,以提高芯片生产的精度与良率,同时帮助客户为后续的制程开发做好准备。
以上就是ASML的三大秘密武器。
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