随着无线通信技术的飞速发展，射频微机电系统（RF MEMS）作为连接微电子与微机械领域的桥梁，正逐步成为提升无线通信设备性能、实现小型化、集成化及多功能化的关键技术，本文将给予当前射频封装技术的现状，分析探讨RF MEMS的前沿研究方向及前

近年来，我国高度重视智能传感器产业发展，工业和信息化部更是编制了“智能传感器产业三年行动指南（2017-2019年）”，为把我新一代信息技术深度调整战略机遇期，提升智能传感器产业核心竞争力奠定了基础。在工信部指导下，中国电子技术标准化研究院

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随着微电子技术和信息技术的迅速发展，MEMS传感器和执行器已成为人们日常生活中必不可少的部分，MEMS行业也开始成为基于集成电路技术演化而来的新兴子行业。一般来说，MEMS是指微电路和微机械按功能要求在芯片上的新型芯片，以集成电路工艺为基础