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GaAs晶圆减薄时易碎片和消除应力问题
GaAs晶圆在减薄过程中容易出现碎片和应力问题，这主要与材料的脆性、加工工艺以及应力管理有关。以下是对这些问题的详细分析：1. GaAs晶圆的脆性与减薄难度GaAs是一种脆性材料，其减薄极限较其他材料（如Si）更低。例如，GaAs的减薄极限通常为50μm左右，而Si可以减薄到约50nm，这种脆性导致
2025-07-23 16:38:01
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