在电力电子器件中,IGBT(绝缘栅双极型晶体管)凭借其独特结构,同时实现了高耐压与栅极可控性,成为高压大功率应用的“心脏”。
1、四层半导体结构:n-p-n-p的精密堆叠
①结构组成
p+集电区:高掺杂浓度的p型半导体,作为电流注入端。
n-漂移区:低掺杂浓度的n型半导体,厚度达数百微米,承担高电压。
p基区:中等掺杂浓度的p型半导体,形成导电沟道。
n+发射区:高掺杂浓度的n型半导体,连接源极金属层。
②栅极绝缘层
采用二氧化硅(SiO₂)作为绝缘介质,将栅极金属与半导体表面隔离。
厚度仅数十纳米,实现栅极电压对沟道的静电控制。
2、高压承受机制:耗尽层的扩展与平衡
①反向偏置下的耗尽层
当集电区-发射区(C-E)施加反向电压时,p+集电区与n-漂移区的PN结形成耗尽层。
耗尽层宽度随电压升高而扩展,最终完全承担高电压,避免电场集中。
②耐压等级的决定因素
n-漂移区厚度:厚度每增加10μm,耐压能力提升约200V。
掺杂浓度:浓度每降低一个数量级,耐压能力提升约50%。
典型应用:1200V级IGBT的n-漂移区厚度约120μm,掺杂浓度<1×10¹³cm⁻³。
3、电流控制原理:栅极电压的静电调控
①导电沟道的形成
当栅极-发射极(G-E)施加正电压时,p基区表面形成n型反型层(导电沟道)。
电子从n+发射区经沟道流向n-漂移区,形成集电极电流(Ic)。
②米勒平台的开关过程
开通阶段:栅极电压超过阈值电压(Vth)后,Ic随Vge指数上升,直至米勒平台。
关断阶段:Vge降至阈值电压以下,沟道消失,Ic急剧下降。
4、电导调制与闩锁效应
①电导调制效应
大电流下,n-漂移区注入大量空穴,与电子复合,降低导通电阻(Ron)。
典型数据:1200V IGBT的Ron比同电压MOSFET低80%。
②闩锁效应的规避
寄生晶闸管结构在高温或高电流下可能失控,需优化p基区掺杂浓度。
设计准则:p基区掺杂浓度>5×10¹⁷cm⁻³,避免闩锁效应发生。
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