随着微电子技术和信息技术的迅速发展，MEMS传感器和执行器已成为人们日常生活中必不可少的部分，MEMS行业也开始成为基于集成电路技术演化而来的新兴子行业。一般来说，MEMS是指微电路和微机械按功能要求在芯片上的新型芯片，以集成电路工艺为基础