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MEMS——中国半导体行业的新风口?
随着微电子技术和信息技术的迅速发展,MEMS传感器和执行器已成为人们日常生活中必不可少的部分,MEMS行业也开始成为基于集成电路技术演化而来的新兴子行业。一般来说,MEMS是指微电路和微机械按功能要求在芯片上的新型芯片,以集成电路工艺为基础
2022-09-13 10:39:36
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