一、散热技术演进:从被动风冷到主动液冷
1. 风冷技术瓶颈
传统风冷依赖空气流动散热,但AI芯片功率密度突破40kW/柜后,风冷效率急剧下降。例如,英伟达H100 GPU功耗达700W,紧凑封装导致局部热点温度超100℃,传统硅脂热阻高达0.5℃·cm²/W,无法满足需求。
2. 液冷技术崛起
液冷通过液体直接或间接接触芯片,热交换效率提升3-5倍,PUE可降至1.05(接近理论极限)。
冷板式液冷:间接冷却,冷板固定在芯片表面,冷却液循环带走热量。英伟达GB200 NVL72采用此方案,运维成本低,适配80%以上智算场景。
浸没式液冷:直接冷却,服务器完全浸入冷却液中,散热效率是风冷的1000倍以上,专为超算等极端场景设计,但成本较高。
3. 混合散热方案
浪潮通信推出“风液同源”架构,通过独立环网为风冷和液冷分别供应低温水和中温水,实现冷量精准分级。例如,纯液冷模式下可支持45kW单机柜功率,年节电4468兆瓦时。

二、材料创新:突破热传导极限
1. 导热界面材料(TIM)
石墨烯导热垫片:热阻低至0.04℃·cm²/W,厚度仅0.1mm,支持70%压缩量,多孔结构避免材料挤出,适用于高算力芯片。
铟基TIM:工研院与Brewer Science开发的聚合物/铜混合键合RDL中,铟基TIM用于芯片与封装盖连接,热导率提升50%。
2. 微流道散热技术
佐治亚理工提出在芯片内部刻蚀微米级通道,构建硅柱液冷路径,冷却能力达300W/cm²。台积电的集成微冷却器(IMEC-Si)方案,通过铜柱阵列实现芯片背面水冷,支持3000W封装功耗。
3. 3D VC均温技术
三维真空腔均热板(3D VC)导热效率达20000W/m·K,远超热管(5000-8000W/m·K)。其内部液体相变传热,可均匀分布热量,减少热点,适用于大功率器件。
三、封装设计:从二维到三维的立体散热
1. 芯片级液冷封装
台积电CoWoS平台集成微冷却器,通过C4凸块翻转贴装和弹性密封剂控制芯片翘曲,实现2.5W/mm²功率密度。三星探索非对称铜基散热块堆叠结构,将铜块置于2nm芯片正上方,配合背面供电网络,热释放效率提升20%。
2. 共封装光学(CPO)
ASE展示的光电平台将光引擎与GPU、HBM共封装,支持每根光纤6.4Tb/s带宽。通过缩短光接口与计算核心距离,降低IO延迟与功耗,同时提升散热效率。
3. 混合键合技术
工研院与Brewer Science在玻璃载体上实现10层堆叠,采用负性光刻胶、Ti阻挡层和Cu填充工艺,结构可靠性优于传统中介层方案,且高速I/O互联损耗更低。
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