工作中有很多日常琐事,工艺也有很多类似的异常问题。芯片工艺很多都是看不见,摸不清楚的,只能靠直觉了。
今天碰到一个有趣的金腐蚀问题。以前用的金腐蚀液15s可以吃掉100埃的金,时隔5个月,剩余的金腐蚀液竟然吃不动金了。怀疑过期了? 保质期写的半年,还有一个月呢。没办法,自己配KI溶液搞吧,王水不想玩。
也整理了一下目前主要的金刻蚀液的配比方案,供大家参考。
KI貌似又会吃掉ITO导电膜。
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