据报道,目前英特尔方面已经完成了代号为Intel 20A(2纳米级)和Intel 18A(1.8纳米)芯片制造工艺的研发。需要强调的是,这两项新工艺节点尚处于早期研发阶段,离真正可以用于大规模商业量产还非常遥远,一旦完善成熟之后,这两项工艺将用于制造自家未来的处理器,以及对外提供的芯片代工制造服务。
据悉,英特尔的Intel 20A制造工艺依赖于栅极全能RibbonFET晶体管,使用背面供电,该工艺可以缩小金属间距,这是一项重大的创新,但具有一定的风险。
Intel 18A制造工艺将在Intel 20A工艺的基础上,采用该公司的RibbonFET和PowerVia技术进行进一步完善,并进一步地缩小晶体管尺寸。
英特尔最初计划在其1.8埃节点上使用ASML 0.55数值孔径(NA)光学器件的Twinscan EXE型光刻机,但后来英特尔觉得这个方案过于保守,决定加快进度,将采用现有的具有0.33 NA光学器件的Twinscan NXE扫描仪,以及EUV双模式。
该公司预计,当其1.8纳米级制造技术在2024年下半年进入高产量制造时,它将成为行业最先进的节点。
Intel的20A和18A制造工艺既为公司自身产品的生产开发,也将用于Intel Foundry Services (IFS)事业部为其代工客户生产芯片。
Intel的首席执行官Pat Gelsinger在最近与分析师和投资者的电话会议上表示:“我们与10大代工客户中的七家保持着积极的合作关系,并持续扩大合作伙伴生态系统的增长,目前已经有43个潜在客户和生态系统合作伙伴进行测试芯片。”此外,我们在Intel 18A方面仍在取得进展,已经与我们的主要客户分享了PDK 0.5(工艺设计工具包)的工程版本,并预计在未来几周内发布最终生产版本。”
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