很少人知道,除了光刻机之外,半导体芯片先进制程的最大关键还有光刻胶,而全球光刻胶市场基本上是以美日公司为垄断,我国很少在光刻机和光刻胶领域上占得优势,如今好消息传来,我国国产高端光刻胶已获得重大突破!
近日,国产公司晶瑞电材在互动平台上表示透露:LrF高端光刻胶已经做到部分品种可量产,同时旗下子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司的光刻胶产品分辨率已经做到0.25-0.13um技术要求,也就是250-130nm工艺,并且已经通过部分重要客户的测试。
光刻胶有多重技术类别,但我国地段的中g线/i线光刻胶自给率仅有20%重要,KrF光刻胶自给率不足5%,高端ArF光刻胶完全依赖于进口,是国内半导体的卡脖子技术之一。
据了解,晶瑞电材是国内最早从事光刻胶生产的企业之一,目前已经取得合肥长鑫、士兰微、扬杰科技、福顺微电子、中芯国际等国内企业的供货订单。
子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司凭借强大的研发实力和突出的产品优势,取得了下游客户的认证,开拓并维系了一大批国内外优质客户,构建了优质的业务平台并成功进入优秀客户的供应链。
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